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EM-KLEEN
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PIE等離子清洗儀 EM-KLEEN
產品詳情
用于SEM,FIB,XPS和ALD等真空分析和鍍膜儀器的碳氫污染物清洗，支持ZEISS,HITACHI,JEOL,FEI,TESCAN,SPECS系統(tǒng)。
技術規(guī)格
工作氣壓：樣品室：0.1-2.5毫托，兼容分子泵
射頻電源：13.56MHz 75Wattt
產品外觀
應用實例
